Cleaning / Coating
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Coating_Ceramic Cover
제품설명
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Section
Main Process : APS Coating(Y2O3)
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Specification
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Usage
반도체 및 OLED 제조장비의 부품 정밀코팅
•Plasma 내식성을 증가시켜 부품의 Particle
및 Defect
제어
•부품
가공성 확보 및 무게 감소를 통한 성능 개선
•반도체
핵심부품,
OLED, Display, Solar 부품
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