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Cleaning_Ceramic Chamber

Product Information

  • Section

    Main Process : Chemical

  • Specification

  • Usage

    반도체 및 OLED 제조장비의 부품 정밀세정

•반도체 및 OLED 공정 적용 부품의 모재 손상을 최소화, 오염물을 제거 

•손상된 부품의 표면을 각 공정의 조건에 맞도록 유지 관리
•Etch, Sputter, PVD, OLED 등 공정 장비 핵심부품